상세설명
비증발형 게터 펌프
NEG는 고체 기질에 눌리거나 디스크에 소결된 반응성 금속입니다.
지르코늄, 바나듐, 철의 특정 조합은 고진공 및 초고진공 환경에 가장 잘 작동하는 것으로 밝혀졌습니다.
사용되는 물질의 양이 NEG 펌프의 속도 및 용량을 제어하지만, 보통 속도는 55에서 412 l/s이고 용량은 630에서 3600 Torr l/s입니다.
NEG는 가스와 함께 포화되므로, 대기로 배기되지 않고 재활성화될 수 있습니다.
