상세설명
TSP는 티타늄 필라멘트를 가열하여 티타늄 분자를 표면에 승화(고체에서 기체 상태로 변환)시키는 원리로 작동합니다.
승화된 티타늄 분자는 산소, 질소와 같은 반응성 가스와 화학적으로 반응할 수 있게되며, 수소를 떼어내고 확산시킵니다.
TSP는 10-5에서 10-12mbar까지 작동할 수 있으며 수소 펌핑 속도는 10,000 l/s 이상입니다.
TSP는 티타늄 필라멘트를 가열하여 티타늄 분자를 표면에 승화(고체에서 기체 상태로 변환)시키는 원리로 작동합니다.
승화된 티타늄 분자는 산소, 질소와 같은 반응성 가스와 화학적으로 반응할 수 있게되며, 수소를 떼어내고 확산시킵니다.
TSP는 10-5에서 10-12mbar까지 작동할 수 있으며 수소 펌핑 속도는 10,000 l/s 이상입니다.