상세설명
스퍼터 이온 펌프 또는 이온 게터 펌프라고도 하는 이온 펌프는 애노드/캐소드 배열을 이용하여 가스를 이온화하는 포획 펌프입니다.
이온 스퍼터 반응성 캐소드 소재는 이온화된 가스를 고체 화합물로 변환하는 화학 반응을 만들어 냅니다.
이런 화합물은 진공 시스템의 압력에 더 이상 영향을 미치지 못하며 이온 펌프 내에 영구적으로 잡혀있게 됩니다.
이온 펌프는 10-5 에서 10-12mbar까지 작동하며 0.2 에서 1,200 l/s로 펌핑합니다(질소).
