상세설명
IM-150 모델은 최대 15만배의 고 분해능 영상을 제공합니다.
미세 나노 입자 형상관찰에 적합한 제품으로 최첨단 기술을 탑재하였습니다. 5개의 자동화된 이동축을 통해 분석위치를 신속하게 찾아낼 수 있으며 일반 Normal-SEM과 동등한 고해상도 영상을 획득할 수 있습니다.
또한 고객사의 분석조건과 활용도에 맞추어 주요사양을 결정, 조정할 수 있습니다.
Specification
| IM-150 Series | ||||
|---|---|---|---|---|
| modeltype | IM-150-SM | IM-150-DM | IM-150-SA | IM-150-DA |
| Ⅰ. Major Features | ||||
| 1Detector | SE | SE+BSE | SE | SE+BSE |
| 2Stage System (Storke) | X,Y(40㎜), R(360˚) 3-axis Manual |
X,Y(40㎜), R(360˚) 3-axis Manual |
X,Y(40㎜), R(360˚), Z (0~40㎜), Tilt(0~60˚) 5-axis Motorized |
X,Y(40㎜), R(360˚), Z (0~40㎜), Tilt(0~60˚) 5-axis Motorized |
| 3Resolution | 5nm | |||
| 4Accelerating Voltage | 1~30kV | |||
| 5Magnifications | 20x~150,000x | |||
| 6Maximum Sample Size | 80㎜(D) x 40㎜(H) | |||
| Ⅱ. Electron Optics | ||||
| 1Electron Gun | Tungsten(W) Filament | |||
| 2Aperture(O.L) | Variable Type (30/50/50/100㎛) | |||
| 3Beam Shift | X.Y 100㎛ (±50) | |||
| Ⅲ. Image System | ||||
| 1Image Diplay | 22inch LCD | |||
| 2Image Fomat | BMP,JPEG,PNG,TIFF | |||
| 3OS | Windows10 | |||
| 4Scan Mode | 320×240,640×480,1280×960,2560×1280,5120×3840 | |||
| 5Automation Function | Auto Focus, Contrast&Brightness, Stigmator, Gun Align(by gou align coil) | |||
| Ⅴ. Vacuum | ||||
| 1Vacuum mode | High Vacuum | |||
| 2Pump System | Initial Vacuum : Rotary(100L), High Vacuum : Turbo Molecular(80L) / Full Automation |
|||
| Ⅵ. Dimensions | ||||
| 1SEM | 480(W)x480(D)x1180㎜, 90kg | |||
| 2Rotary Pump | 400(W)x160(D)x340(H)㎜, 24kg | |||
| Ⅶ. Additional | ||||
| 1SEM | CCD CAMERA(Navigation mode), Analysis Joystick Controller | |||
| 2Option | Low Vacumm, EDS, Cooling Stage, STEM Dectector | |||
