상세설명
IM-60 모델은 사용자의 분석목적에 다양함을 가질 수 있는 고급형 제품입니다. 이미지 분석에 기본이 되는 2차전자(SE), 후방산란전자(BSE) 디텍터를 선택적으로 탑재 가능합니다.
스테이지는 기본 X,Y,R 3축(매뉴얼)로 구성되어 있으나 부가적으로 Z, Tilt 축이 포함된 5축 자동스테이지 변경이 가능합니다. 또한 설치환경과 목적에 따라 Tabletop 형태 또는 Tower(Carrier) Type의 SEM 으로 구조변경이 가능합니다.
Specification
| IM-60 Series | ||||
|---|---|---|---|---|
| modeltype | IM-60-SM | IM-60-DM | IM-60-SA | IM-60-DA |
| Ⅰ. Major Features | ||||
| 1Detector | SE | SE+BSE | SE | SE+BSE |
| 2Stage System (Storke) | X,Y(40㎜), R(360˚) 3-axis Manual |
X,Y(40㎜), R(360˚) 3-axis Manual |
X,Y(40㎜), R(360˚), Z (0~40㎜), Tilt(0~60˚) 5-axis Motorized |
X,Y(40㎜), R(360˚), Z (0~40㎜), Tilt(0~60˚) 5-axis Motorized |
| 3Resolution | 10nm | |||
| 4Accelerating Voltage | 5~30kV | |||
| 5Magnifications | 20x~60,000x | |||
| 6Maximum Sample Size | 80㎜(D) x 40㎜(H) | |||
| Ⅱ. Electron Optics | ||||
| 1Electron Gun | Tungsten(W) Filament | |||
| 2Aperture(O.L) | Single Type | |||
| 3Beam Shift | X.Y 100㎛ (±50) | |||
| Ⅲ. Image System | ||||
| 1Image Diplay | 22inch LCD | |||
| 2Image Fomat | BMP,JPEG,PNG,TIFF | |||
| 3OS | Windows10 | |||
| 4Scan Mode | 320×240,640×480,1280×960,2560×1280,5120×3840 | |||
| 5Automation Function | Auto Focus, Contrast&Brightness, Stigmator, Gun Align(by gou align coil) | |||
| Ⅴ. Vacuum | ||||
| 1Vacuum mode | High Vacuum | |||
| 2Pump System | Initial Vacuum : Rotary(100L), High Vacuum : Turbo Molecular(80L) / Full Automation |
|||
| Ⅵ. Dimensions | ||||
| 1SEM | 480(W)x480(D)x1180㎜, 90kg | |||
| 2Rotary Pump | 400(W)x160(D)x340(H)㎜, 24kg | |||
| Ⅶ. Additional | ||||
| 1SEM | CCD CAMERA(Navigation mode), Analysis Joystick Controller | |||
| 2Option | Low Vacumm, EDS, Cooling Stage, STEM Dectector | |||
