상세설명
IM-10 모델은 ISP 의 SEM Line-up 중에서 가장 기본이 되는
사양과 최적의 기능을 탑재한 보급형 제품입니다.
Low Vacuum Mode를 이용해 시료의 전처리 없이 부도체
시편의 이미지 분석이 가능합니다.
또한 자동화된 스테이지 구성으로 손쉽게 조작이 가능하며
분석방법의 단순화로 신속한 이미지 분석을 할 수 있습니다.
본 제품은 그 동안의 SEM 과 차별화된 사양으로 제공합니다.
Specification
| model | IM-10 Series |
|---|---|
| Ⅰ. Major Features | |
| 1Detector | BSE |
| 2Stage System (Storke) | X,Y(40㎜) 2-axis Motorized |
| 3Resolution | 40nm |
| 4Accelerating Voltage | 10~30kV |
| 5Magnifications | 50x~30,000x |
| 6Maximum Sample Size | 50㎜(D) x 40㎜(H) |
| Ⅱ. Electron Optics | |
| 1Electron Gun | Tungsten(W) Filament |
| 2Aperture(O.L) | Single Type |
| 3Beam Shift | X.Y 100㎛ (±50) |
| Ⅲ. Image System | |
| 1Image Diplay | 22inch LCD |
| 2Image Fomat | BMP,JPEG,PNG,TIFF |
| 3OS | Windows10 |
| 4Scan Mode | 320×240,640×480,1280×960,2560×1280 |
| 5Automation Function | Auto Focus, Contrast&Brightness, Stigmator, Gun Align(by gou align coil) |
| Ⅴ. Vacuum | |
| 1Vacuum mode | Low Vacuum |
| 2Pump System | Initial Vacuum : Rotary(100L), High Vacuum : Turbo Molecular(80L) / Full Automation |
| Ⅵ. Dimensions | |
| 1SEM | 480(W)x480(D)x1180㎜, 90kg |
| 2Rotary Pump | 400(W)x160(D)x340(H)㎜, 24kg |
| Ⅶ. Additional | |
| 1SEM | CCD CAMERA, Analysis Joystick Controller |
| 2Option | EDS, Cooling Stage |
