상세설명
본 제품의 설명은 테스칸코리아 공식 홈페이지의 영문내용을 번역하여 올린 것으로, 보다 더 자세한 내용은 아래의 링크를 통해 공식홈페이지를 참고 바라겠습니다.
MIRA3 AMU는 매우 큰 챔버가 있는 고성능 FE-SEM 시스템입니다. 이 독특한 현미경은 표준 챔버에 장착할 수 없는 특수 대형 샘플의 이미징 및 분석을 허용합니다.
이를 위해 TESCAN은 매우 크고 무거운 샘플을 수용할 수 있는 독특한 FE-SEM인 MIRA3 AMU를 제공하여 이러한 큰 샘플의 SEM 분석을 가능하게합니다.
주요 특징
변경할 수없는 매우 큰 샘플의 SEM 이미징 (작은 조각으로 절단)
챔버 내부 치수 : 880mm (폭), 1200mm (깊이)
최대 시편 중량 : 25kg
통합 능동 진동 차단
저진공 및 고진공 작동
다중 검출기 구성이 가능합니다
응용
생명과학
대형 생물학적 샘플 이미지, 전골 분석
재료과학
전체 대형 샘플의 특성, 착용 및 피로 연구, 고장 분석, 법의학
지구과학
광물, 전체 암석 및 귀중한 지질 샘플의 연구 및 특성화는 분석을 위해 통합 구조를 보존해야 합니다
반도체 및 마이크로전자
대형 웨이퍼 SEM 검사 (최대 샘플 직경 30)
