상세설명
본 제품의 설명은 테스칸코리아 공식 홈페이지의 영문내용을 번역하여 올린 것으로, 보다 더 자세한 내용은 아래의 링크를 통해 공식홈페이지를 참고 바라겠습니다.
XEIA3
초고해상도 영상과 매우 강력한 Xe 플라즈마 이온원 FIB 콜럼
주요 특징
트리글라브TM - 새로 설계된 UHR 전자 기둥
TriLensTM - 목적 시스템 : 3 렌즈 대물 렌즈 및 크로스 오버 프리 빔 경로의 고유한 조합
다중 SE 및 BSE 검출기를 이용한 고급 검출 시스템 - TRISETM 및 TriBETM
TriglavTM - 저빔 에너지에서 초고해상도 극단 : 1 keV에서 1 nm, 15 keV에서 0.7 nm
400nA의 전자빔 전류와 빠른 빔 에너지 변화
최대 8 "및 12"의 대형 웨이퍼를 수용하기 위한 최적화된 열 형상
