상세설명
본 제품의 설명은 테스칸코리아 공식 홈페이지의 영문내용을 번역하여 올린 것으로, 보다 더 자세한 내용은 아래의 링크를 통해 공식홈페이지를 참고 바라겠습니다.
LYRA3는 고해상도 FE-SEM 기둥과 다목적 고성능 Ga 이온 소스 FIB를 결합한 이중 빔 시스템입니다.
LYRA3는 단면, 현장 고유의 고품질 TEM 라멜라 및 3D 샘플 재구성을 위한 고해상도 FIB-SEM 단층 촬영을 준비하는 데 탁월한 선택입니다.
주요 특징
고성능 전자 광학 하이 휘도 쇼트키 방출기는 고해상도 / 고전류 / 저소음 이미징을 위한 고유한 와이드 필드 광학 설계를 위한 IML (Inperietary Intermediate Lens)을 사용하여 다양한 작업 및 디스플레이 모드를 제공합니다. 예를 들어 향상된 시야 또는 초점 깊이를 제공합니다.
TM, 성능 및 빔 최적화, 잘 확립된 소프트웨어 전자 광학 설계와 통합됩니다.또한 빔 스팟 크기 및 빔 전류의 직접 및 연속 제어가 포함됩니다.
저 빔 전압에서 우수한 해상도를 위한 빔 감속 기술 (BDT) 및 강력한 In-Beam 검출기 (옵션)로 짧은 작업 거리에서 우수한 해상도를 갖는 모든 MIRA3 챔버는 5 축 완전 전동 컴퓨센트 스테이지를 사용하여 우수한 시편 핸들링을 제공합니다. EEDX 및 EBSDOPT의 특이 챔버에 이상적인 기하학적 형상을 가지고 있습니다.
대형 웨이퍼 (6, 8, 12)를 포함한 대형 샘플을 수용할 수 있는 견고한 단계를 가진 XM, GM)도 사용할 수 있습니다.
