본 제품의 설명은 테스칸코리아 공식 홈페이지의 영문내용을 번역하여 올린 것으로, 보다 더 자세한 내용은 아래의 링크를 통해 공식홈페이지를 참고 바라겠습니다.
초고해상도를 위해 새롭게 설계된 전자칼럼.
MAIA3 모델 2016은 빔 에너지의 전체 범위에서 우수한 이미징 기능을 갖춘 초고해상도 SEM입니다.
주요 특징
TriglavTM - 새로 설계된 UHR 전자 칼럼 TriLensTM - 목적 시스템 : 3 렌즈 대물 렌즈 및 크로스 오버 프리 빔 경로의 고유한 조합 다중 SE 및 BSE 검출기 TRISETM 및 TriBETMTriglavTM - 저빔 에너지의 Ultimate 초고해상도 : 1 nm at 1 keV 및 15 keVelectron 빔에서 최대 400 nA의 0.7 nm 및 빠른 빔 에너지가 각도 선택 신호 수집을 위해 3 중 BSE 탐지 TriBETM을 변경합니다.
중간 BSE 및 In-Beam LE-BSE 검출기는 기둥 내부에 위치하고 중간 각도 및 축 방향 후방 산란 전자를 감지하는 반면 In-Chamber BSE 검출기는 광각 전자를 감지합니다. 함께 다양한 영상 대조를 제공하고 저 에너지 검출을 최대 200 eV까지 허용합니다.
트리플 SE 검출 TRISETM은 모든 작업 모드에서 SE 신호를 최적으로 캡처합니다. 기둥 내부의 In-Beam SE 검출기는 매우 짧은 작동 거리에서 전자를 검출할 수 있습니다. 빔 감속 모드에 대한 SE 검출기는 BDM에서 궁극적인 해상도를 제공합니다.
In-Chamber SE 검출기는 우수한 지형 대비를 제공합니다.50eV (선택적)까지 매우 낮은 빔 에너지에서 우수한 해상도를 위한 빔 감속 기술 (BDT)
