상세설명
본 제품의 설명은 테스칸코리아 공식 홈페이지의 영문내용을 번역하여 올린 것으로, 보다 더 자세한 내용은 아래의 링크를 통해 공식홈페이지를 참고 바라겠습니다.
VEGA3 - 3세대 VEGA SEM
VEGA3는 텅스텐 가열 필라멘트 또는 란탄 헥사 보라이드 (LaB6)를 전자원으로 사용하는 열 이온 방출 SEM 시스템입니다.
주요 특징
빔 애퍼처 최적화를 위해 TESCAN 전용 중간 렌즈 (IML)를 구현하는 다양한 작업 및 표시 모드를 제공하는 독특한 4 렌즈 와이드 필드 광학 TM 설계.아퍼처 체인저로 작동하는 독점 중간 렌즈 (IML)는 효과적인 최종 애퍼처를 전자기적으로 교환합니다.
실시간 비행 빔 트래이 잘 확립 된 소프트웨어 일렉트로닉 광학 설계. 성능 및 빔 최적화를 위한 CingTM 기계식 센터링 요소가 없는 열 구성은 완전히 모터화된 컴퓨센트릭 스테이지 VEGA3 현미경을 사용하여 완전히 자동화된 열 설정 및 정렬 Superior 시편 핸들링을 SB, LM, XM 및 GM의 4 개의 챔버 크기로 구성할 수 있습니다.이 챔버에는 다양한 포트가 장착되어 있으며 EDX, WDX 및 EBSD 분석을 위한 최적의 기하학으로 설계되었습니다.
