본 제품의 설명은 테스칸코리아 공식 홈페이지의 영문내용을 번역하여 올린 것으로, 보다 더 자세한 내용은 아래의 링크를 통해 공식홈페이지를 참고 바라겠습니다.
MIRA3 - 3 세대 MIRA3 FE-SEM
MIRA3는 고해상도 및 저소음 이미징을 달성하기 위해 고휘도 쇼트키 에미터를 특징으로하는 고성능 SEM 시스템입니다.
높은 빔 전류에서의 우수한 해상도는 EDX, WDX 및 EBSD 구성 분석에 특히 유리한 것으로 입증되었습니다.
낮은 착륙 전자 에너지에서의 이미징 능력은 선택적 빔 감속 기술 (BDT)에 의해 더욱 향상됩니다.
[주요 특징]
고해상도 / 고전류 / 저소음 이미징을 위한 고휘도 쇼트키 이미터 유니크 4 렌즈 와이드 필드 광학TM 설계는 빔 조리개 최적화를 위한 TESCAN 독점 중간 렌즈(IML)를 구현하는 다양한 작동 모드 및 디스플레이 모드를 제공합니다.
"Aperture Changer"로 작동하는 독점 중간 렌즈 (IML). 최종 개구부를 전자기 방식으로 교환하는 성능과 빔 최적화를 위한 실시간 비행 중 빔 추적 TM을 구현하며, 이는 또한 강력한 In-Beam 검출기 (옵션)와 짧은 작업 거리에서 우수한 해상도를 위해 빔 및 빔 전류 빔 감속 기술 (BDT)을 직접적이고 연속적으로 제어 할 수 있습니다.
MIRA3 챔버는 5 개의 MIRA3 챔버를 직접적으로 제어 할 수 있습니다. 축 완전 전동식 컴퓨센트릭 스테이지와 EDX 및 EBSDOPtional Extra-large 챔버 (XM, GM)에 이상적인 기하학적 형상을 가지고 있으며 대형 웨이퍼 (6, 8, 12)를 포함한 대형 샘플을 수용 할 수있는 견고한 스테이지도 사용할 수 있습니다.
