상세설명
내약품,내유성이 뛰어난 태프론(PFA)을 채용
웨이퍼 세정조의 유산등 고온액체의 검출에도
대응할 수 있음(-40 ~ +200℃)
순수한 물에서 0.5mm의 높은 반복정도를 실현
액체흘림 방지 기구를 채용
내약품,내유성이 뛰어난 태프론(PFA)을 채용
웨이퍼 세정조의 유산등 고온액체의 검출에도
대응할 수 있음(-40 ~ +200℃)
순수한 물에서 0.5mm의 높은 반복정도를 실현
액체흘림 방지 기구를 채용