상세설명
데드 스페이스가 최소화 된 컴팩트 한 디자인 바디
SEMI F-20,“UHP (초 고순도)를위한 규격 316LSS 재료
등급 반도체 제조 어플리케이션”최대 유량
최소 입자 생성 수분, 산소 및
인증 된 청정 환경에서 UNILOK 고유의 특수 세정 공정을 갖춘 탄화수소
방 UNILOK의 자체 전기 연마로 습윤 영역의 우수한 마무리 수준
내구성이 뛰어나고 Elgiloy® 다이어프램 재료 가공
긴 수명을위한 내식성 뛰어난 PCTFE 시트 소재
화학적 및 열 저항
