최고의 내라디칼성을 가지고 있으면서 순수성, 저비틀림특성, 내열성도 우수합니다.
반도체·액정관련기기의 드라이엣칭·아싱장치내, CVD장치내의 높은 내라디칼성이 요구되는 개소에 사용합니다.