Specifications

변위 : 200mm x 200mm

분해능 : 1nm

부하 : 147N

에어베어링 특징

- 마찰이 없어 나노미터 분해능의 고정밀 포지셔닝

- 우수하고 일정한 속도 안정성

- 최고 5μrad/100mm의 우수한 가이드 정확도

- pitch, roll, yaw 에러 모션 최소화

- ACS 모션 컨트롤로 구동되는 최첨단 컨트롤

- 기계적 마모와 성능 저하 없음

PIMag® magnetic direct drive

3상 다이렉트 드라이브는 드라이브트레인에 기계적 요소를 사용하지 않아 마찰 없이 직접 구동력을 모션 플랫폼에 전달하여 높은 속도와 가속도를 달성한다. 아이언리스 모터는 코깅이 없기 때문에 정밀도가 높아 포지셔닝 작업에 적합하다. 가장 낮은 속도에서도 부드럽게 주행할 수 있으며 동시에 높은 속도에서도 진동이 없다.

응용분야

고정밀 포지셔닝, 검사 시스템, 레이저 마킹, 마이크로스코피, 스캐닝