상세설명
탁상형 밀링 가공기로써 세계최초!!
50㎛의 Line / Space를 실현했습니다.
◆ 50μm의 라인이나 스페이스의 밀링 가공 가능。
◆ 저진동 ・고강성의 기계설계
◆ 레이져 가공기와 비교하여 대폭적으로 뛰어난 가격 성능。
◆ 사양
Model
FP-21T Precision
가공 범위 (mm)
150×150
테이블 사이즈 (mm)
240×380
제어축
X, Y, Z
제어 모터
5상 스텝모터
분해능
4
최소 패턴 폭 (mm)
0.05 (50μm)
최소 절삭 폭 (mm)
0.05 (50μm)
최대 가공 속도 (mm/sec)
50
최대 이동 속도 (mm/sec)
50
스핀들 모터의 TYPE
HF Spindle
스핀들 회전수 (r.p.m)
5,000~60,000
모터의 축 흔들림 (μm)
10
가공중 기판 누름 방식
접촉 또는 비접촉 방식
에어 컴퓨렛셔 (Mpa)
0.5Mpa
드릴 직경 (mm)
0.1~6.0
최대 드릴 속도 (strokes/min)
60
드릴 하강 속도 (sec)
0.5~5
Variable
공구 교환
콜렉트 첵 방식
기판 위치 결정 방법
Pin 또는 소프트웨어 보정
소비전력
250VA
크기 W×D×H (mm)
가공기 : 415×456×375
콘트롤러 : 130×235×305
중량 (kg)
가공기 : 36kg
콘트롤러 : 4kg