상세설명
DV TEC DRY VACUUM PUMP SYSTEM PACKAGE는 산업 전반에 걸친 다양한 용도의 진공 공정 설비에 사용되며 특히 MECH. VACUUM
BOOSTER와 2단 / 3단으로 직결로 조합하여 고 진공, 대용량, 고효율의 건식 형 진공 PUMP SYSTEM을 이용할 수 있다. 흡입압력 20 ~ 1*10-
3Torr 까지의 영역에서 비교적 소 용량의 Dry Type 진공 Pump의 흡입 측에 대용량의 Roots Mechanical Vacuum Booster를 직렬로 조합한 형
식으로 BACKING PUMP인 스크류 진공펌프 단독 운전비용 보다 저렴한 운전비용으로 공정의 안정화를 기할수 있고 배기능력 은 1200m³ ~
12,000m³/Hr까지 적용범위가 다양하며 운전 진공도를 일정하게 유지할 수 있다.