- 高安定 배광회로형 레져간섭센서(특허)
- 동경정밀의 요소기술의 하나인 광화이바에 의한 레이져간섭측장시스템을
응용하여,분해능 0.3㎚의 高安定 배광로형레이져 간섭센서를 개발 탑재
- 다이나믹렌지와 분해능비는 43,333,000 : 1도 있어, 넓은 범위의 윤곽형상
과 그 형상에 숨어있는 미세한 표면형상을 원트래스로 평가가능
- 광범위· 자동측정
- 횡방향 200mm, 종방향 13mm의 넓은 측정범위
- 45˚ 경사가능한 전동경사장치를 옵션으로 준비
- 틸팅· 플레이백기능에 의한 측정으로 인쇄까지의 자동화 대응이 가능
- 세계최고수준의 분해능 0.3nm를 달성
검출기에 고안정화 배광로형 He-Ne 레이져 간섭계를 채용
- 구동부 리니어 모터 탑재
리니어 모터 구동으로 고정도·고속이동을 실현
저진동화에 의한 고배율 측정이 가능
- 한번의 측정으로 조도와 형상의 해석